技術交流
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DE500 Sputter 磁控濺射儀極限真空度可達≤ 5.0×10-8Torr
2013-02-05 00:00:00 -
DE500 Sputter 磁控濺射儀抽至1E-6Torr的時間約為15分鐘，抽至5E-7Torr的時間約為30分鐘
2013-02-05 00:00:00 -
DE500 Sputter 磁控濺射儀關機100小時后的真空度可保持在7.5E-2Torr
2013-02-05 00:00:00 -
DE500 Sputter 磁控濺射儀工作氣壓穩定性優于0.25%，濺射氣壓下觀察不到壓力漂移
2013-02-05 00:00:00 -
DE500 Sputter 磁控濺射儀直流起輝氣壓低至0.7mTorr, 直流和射頻均可保持在該氣壓下輝光穩定工作
2013-02-05 00:00:00
